您的位置：
服務熱線
86-21-63504668
產品型號： DH-500JJC
所屬分類：電阻測量儀
產品時間：2016-08-25
簡要描述：DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機DH500JJC生產廠家該鍍膜機主要用于科研實驗，可制備納米級和微米級的單層及多層功能膜-各種硬質膜、光學膜、金屬膜、鐵磁薄膜、半導體膜、介質膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機DH500JJC生產廠家
該鍍膜機主要用于科研實驗，可制備納米級和微米級的單層及多層功能膜-各種硬質膜、光學膜、金屬膜、鐵磁薄膜、半導體膜、介質膜和氧化物薄膜等多種薄膜。
該鍍膜機為前開門式設計，功能強、鍍膜質量穩定、重復性好、操作簡便。真空室材料均采用優良材質SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規范、精致，保證了材料的成膜純度。
采用分子泵+直聯機械泵機組，具有抽速快、無油、操作方便快捷、易于維護的特點。
◆ 鍍膜方式：可實現多靶共濺模式；
◆ 磁控靶：圓柱/平面靶；
◆ 進氣系統：三路質量流量計；
◆ 鍍膜室體積：500mm*500mm*600mm；
◆ 極限真空度：5X10-5 Pa，恢復真空：從大氣抽至6.7X10-4 Pa （40分鐘）；
◆ 真空抽氣系統：機械泵與分子泵組成；
◆ 真空測量系統：數顯復合真空計；
◆ 工作電源：直流電源500W；射頻電源500W（13.56MHz）；加熱控溫電源；
◆ 工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(PID控溫)；
◆ 選配件：石英晶振測厚儀、冷卻水機組等；
◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。
◆ 特殊規格可定制。
DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機DH500JJC生產廠家
SXL-1008 SX2-5-12N SXL-1208 SX2-4-13N SXL-1216 SXL-1002 YAZDI-10 SX2-12-16 SX2-8-16 SX2-10-13 SX2-8-13 SX2-6-13 SX2-4-13 SX2-10-1
